تبلیغات
نیو ول - جنس بوته استفاده شده در فرایند چکرالسکی

نیو ول

منو

نویسندگان

دانلود نرم افزار Silvaco2014 - لینک مستقیم

سیلواکو یک نرم افزار حل عددی معادلات نیمه هادی است. معادلات مربوط به افزاره های ساخته شده توسط ن ...

دریافت فایل
ـنقاشـ

جنس بوته استفاده شده در فرایند چکرالسکی

بوته، بوته چینی یا کوزه چینی ابزاری آزمایشگاهی است که برای حرارت دادن مواد تا دماهای بالا (بیش از ۱۰۰۰ درجه سانتی گراد) ساخته شده. بوته ظرفی به شکل مخروط ناقص است که از ماده‌ای نسوز، عموماًً گرافیت یا کاربید سیلیکون، ساخته شده باشد و برای استفاده در دمای بالا به کار رود.

انتخابهای بسیار اندکی برای جنس بوته در فرایند چوکرالسکی وجود دارد، که معروفترین انها کوارتز است اما چنین بوته‌هایی توسط سیلیکن مذاب به آرامی حل شده و باعث ایجاد ناخالصی اکسیژن میگردد. قسمت اعظم اکسیژن به صورت SiO بخار می‌شود. اما تعدادی وارد کریستال در حال رشد می‌شوند. کوارتز در واقع نوعی شیشه است و فرمول شیمیایی آن SiO2 است، که در مقابل دمای بالا نرم می‌شود. پس نیاز به یک نوع محافظ دارد، گرافیت برای این مساله بسیار مناسب است زیرا توانایی تحمل دمای بسیار بالا را دارد که چنین محافظی[1] باعث می‌شود که مقداری کربن نیز به عنوان ناخالصی وارد کریستال گردد.

نا خالصی اکسیژن می‌تواند مزایایی هم داشته باشد با انتخاب دقیق شرایط بازپخت می‌توان باعث رسوب اکسیژن شد. این منجر به به دام افتادن ناخالصی‌های فلزی در فرایندی به نام gettering می شود. در واقع فرایندی است که در آن ناخالصی‌های را خارج می‌کنند. همچنین اکسیژن می‌تواند باعث مستحکم شدن ویفر سیلیکنی ‌گردد، همچنین به صورت تجربی اثبات شده که سختی تشعشعی کریستال ایجاد شده توسط فرایند چوکرالسکی بهتر می باشد که باعث می‌شود که حسگرهای ساخته شده توسط سیلیکن‌های چوکرالسکی، گزینه مناسبی برای آزمایشات تجربی انرژی بالا محسوب گردند.



[1] susceptor

نظرات